카세트 박스 Full Auto 세정 시스템 SC-8
본 장치는 CRD-4500의 후계기로 개발되어 최대8" 웨이퍼 캐리어 및 BOX까지 대응 가능한 자동 세정기입니다.
세정대상은 전용 트레이에 Set되어 각 처리 챔버에서 효율적인 세정/건조가 이루어집니다.
와이어 트레이 반송에는 파티클 방지 대책이 이루어진 휴글만의 특수 롤러 방식을 채택했습니다.
제품개요
- 다양한 용기 대응가능
- 공간절약/에너지절약 설계
- Hugle 자체 초정밀 세정
- 완전 건조를 실현하는 고효율 핫 에어 나이프 건조
- 다양한 옵션 대응
- SEMI S2, S8, CE규격 준수
- 장비 본체 사이즈: 2630(W) x 1170(D) x 1706(H) mm (돌출부분제외)
- 공간절약/에너지절약 설계
- Hugle 자체 초정밀 세정
- 완전 건조를 실현하는 고효율 핫 에어 나이프 건조
- 다양한 옵션 대응
- SEMI S2, S8, CE규격 준수
- 장비 본체 사이즈: 2630(W) x 1170(D) x 1706(H) mm (돌출부분제외)