기판 양면 클리너 USG-402S / USXD-1
소형 기판부터 10세대 액정 글래스까지 지원하는 비접촉식 양면 드라이 클리너 입니다. 평면 디스플레이 (액정, OLED, 플라즈마)의 어레이, 셀 공정에서 부착 된 파티클 등을 인라인으로 양면 동시 클리닝이 가능합니다. 롤러 및 컨베이어로 이송되는 FPD와 OLED, 태양 광 패널의 양면 클리닝에 적합 합니다.
제품개요
- 대형 디스플레이의 수요 확대에 있어서 패널 제조업체는 글래스 기판의 대형화에 의한 생산성 향상을 추진하고 있습니다.
- 당사는 지금까지 쌓아온 드라이 세정 기술을 바탕으로 향후 대형 패널의 생산성 향상에 기여하겠습니다. (G12 대응 기종 개발 중)
- 당사는 지금까지 쌓아온 드라이 세정 기술을 바탕으로 향후 대형 패널의 생산성 향상에 기여하겠습니다. (G12 대응 기종 개발 중)
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제진 성능
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1.6μm 이상의 입자를 100 % 제거 가능
<실험 조건>
실험장치
HUGLE 본사 내 클린 룸 (클래스100)의 반송 장치
제진 대상
액정용 글래스 기판 (370 x 470 x 0.7mm Cr막)
살포 입자
액정용 스페이서 (마이크로 펄 1.6 · 3 · 5 · 10㎛), 유리 분진
헤드 토출 압력
13kPa
기판과 클리너의 간격
1.5mm
반송 속도
100 · 200 · 300mm / sec
평가 장비
CCD 카메라
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N2 / 제습 환경 대응
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당사에 DEMO TEST 요청 시에는 HUGLE 본사(일본)에 샘플을 보내어 TEST 가능합니다.
컨베이어식 반송기
대응 가능 기판 최대 사이즈 1100㎜ × 1300㎜
- 평가 장비 1
글래스 전면 검사 장치 GI-5400 (히타치 하이테크 제품)
- 평가 장비 2
디지털 마이크로 스코프 VHX-5000 (키엔스)
배율 : 500 배 ~ 5000 배
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제품소개 영상