기판 단면 클리너 USG-401S / USXS-1
컴팩트 한 설계로 클리닝 헤드의 슬림화를 실현하고 공기 유량 제어로 블로워 유닛까지 절전 · 경량화를 실현했습니다. FPD, OLED, PV 패널의 표면 클리닝에 적합합니다.
제품개요
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사양
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<기존 제품과 비교>
1400mm 기판 대비
USG-401S
장점
헤드크기
▲50%
공간
송풍기 단위 치수
▲12%
공간
송풍기 단위 무게
▲20%
경량화
송풍기 정격
▲25%
소형화
소비 전력
▲22%
절전
운영 비용
▲20%
절전
초기 비용
▲20%
저렴한 가격
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제진 성능
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1.6μm 이상의 입자를 100 % 제거 가능
<실험 조건>
실험장치
HUGLE 본사 내 클린 룸 (클래스100)의 반송 장치
제진 대상
액정용 글래스 기판 (370 x 470 x 0.7mm Cr막)
살포 입자
액정용 스페이서 (마이크로 펄 1.6 · 3 · 5 · 10㎛), 유리 분진
헤드 토출 압력
13kPa
기판과 클리너의 간격
1.5mm
반송 속도
100 · 200 · 300mm / sec
평가 장비
CCD 카메라
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N2 환경 대응
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밀폐 챔버에서 클리닝을 실현한 제품 (특허)을 준비하고 있습니다.
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데모 평가 장비
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당사에 DEMO TEST 요청 시에는 HUGLE 본사(일본)에 샘플을 보내어 TEST 가능합니다.
반송 타입
클리닝 헤드 구동식
대상 기판 사이즈
최대 730mm x 920mm
평가 장비 1
전면 글래스 검사 장치 GI-5400 (히타치 하이테크 제품)
평가 장비 2
디지털 마이크로 스코프 VHX-5000 (키엔스)
배율 : 500배 ~ 5000배
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제품소개 영상