클린 제트 건 MODEL 307R
본 제품은 기존의 사양에 안전 회로 기능을 탑재 한 「MODEL 307R」로 리뉴얼했습니다. 안전 회로를 탑재하여 고전압 구동 회로의 이상을 감지하면 경보로 알려 고압 출력을 자동으로 차단하는 기능을 내장했습니다. (높은 안전 설계) 제전 · 제진 지역 (중앙에서 광범위까지)를 용도에 맞게 노즐 선택할 수있는 범용 모델입니다. 유리 기판 디스크 웨이퍼 레티클에 정전기에 묻은 먼지를 0.01μ 필터로 여과 한 이온화 공기 (또는 질소)에 의해 신속 · 정확하게 제거합니다.
제품개요
- 0.01μ 필터 탑재 한 청결한 공기에 의한 제전
- 방전 침은 교환이 쉬운 커넥터 방식을 채용
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사양
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형식
MODEL 307R
방전 방식
AC 코로나 방전 방식
입력 전압
AC100V ~ AC110V 50Hz / 60Hz
전원 코드 AC100V용 부속
입력 전류
230mA MAX (DC24V)
출력 전압
5.3kV ~
사용 압력 범위
0.05 ~ 0.4MPa
사용 기체
CDA 또는 N2
기체 도입구
Φ6 원터치 피팅
공기 유량
118ℓ / min MAX
총 케이블 길이
2m
주변 온/습도
작동 시 : 10 ~ 40℃ 35% ~ 65% RH
저장 시 : 0 ~ 40℃ 35% ~ 85% RH (결빙, 결로가 없을 것)
외형 치수 (mm)
Gun : 138(W) x 28(D) x 147(H)
컨트롤러 : 155(W) x 205(D) x 95(H)
무게 (g)
GUN : 0.52kg
컨트롤러 : 2.1kg
부속품
빔 노즐 예비 휴즈 (컨트롤러 내부에 포함)
전원 코드 (AC100V용 3M)
표준 방전 침
텅스텐 바늘
옵션
폴리 실리콘 바늘
소모품
필터 : F-307R (10개/Set)
텅스텐 바늘 : W-307R
폴리 실리콘 바늘 : P-307R
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외관도
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