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UPC-12500 FULL AUTOMATIC FOUP CLEANING SYSTEM

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LOAD PORT RF-TAG・パーコード読み取りのいずれにも対応可能

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TRANSFER ROBOT HUGLE特別仕様の6曲多関節クリーンロボット採用

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Instrument Panel オンライン通信にて各種用力情報をSVDにて送信可能

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UPC-12500 is a fully automated cleaning system that washes and dries one FOUP in its chamber.

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Super high purity is achieved by DIW Jet Wash and through various innovative technology

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such as high speed FOUP door spinning for quick dry. in addition to high velocity heated CDA

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The robot automatically separates FOUP Shell from FOUP Door.

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FOUP Shell and Door are assembled automatically.

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全自動FOUP洗浄システム UPC-12500 − SORA
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2011Sep 30
300mmウェハ用FOUPの自動洗浄装置としては、世界トップクラスの実績と信頼を得てきたUPC-12100をモデルチェンジ。現代の半導体製造には不可欠な高品質・­高スループット・省エネをコンセプトに改良されました。SEMI規格はもちろん、ULやCE規格にも準拠しております。自動搬送システム(AMHS)対応、通信プロトコル­はGEM300に対応しているため、オンラインでの管理にも相応しい装置として実現しています。 世界最高水準のFOUP洗浄装置、是非、ご検討下さい。 http://www.hugle.co.jp/products/clean...

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Hugle Electronics

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