Home > 제품소개 > 파티클카운터
글래스 기판/실리콘 웨이퍼/필름 시트 등의 표면 이물 (파티클, 결함, 이물 등)을 측정하고 측정 결과를 Mapping/Graph로 표시하는 장비입니다.

특 징
세정후의 평가
제막공정 후의 평가
Clean room내의 침강 입자평가
독자측정 방법채용에 의해, 종래에 없는 저가격을 실현

관련 세부사항은 하기의 각 페이지를 참조하여 주십시오.
Sensor Head에 관하여
YPI-200
YPI-200a반송기구
YPI-300EDGE
YPI-500