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UPC-12100은 SECS II 프로토콜에 의해 OHT/RGV 자동 반송 시스템에 맞추어 초음파제트 순수를 사용하는 전자동 300mm FOUP세정시스템입니다. 휴글일렉트로닉스의 용기세정 시스템에 대한 풍부한 경험과 기술이 집약 된 최신장비입니다.

UPC-12100의 주요특징
초음파제트방식 순수에 의한 정밀 세정
OPENER/CLOSER로 SHELL, DOOR의 자동 개폐
온라인, 오프라인 양 모드로의 오퍼레이션 가능
도어의 고속회전에 의한 건조 촉진
이젝터에 의한 챔버 내 진공 건조
300mm양산라인에서의 실적

UPC-12100사양
본 체
표면재질: SUS304#400
크기: 2200(W) x 2800(H) x 2800 (D) mm
중량: 3500 kg이하
전원: 3P208V 25kVA
 
탱크유니트
크기: 460(W) x 1200(H) x 1000(D) mm
중량: 120 kg이하
전원: 3P208V 5kVA