Home > 제품소개 > 세정관련제품
반도체 프로세스는 한계없는 미세화, 신소재의 도입, 웨이퍼의 대구경화의 도상에 있습니다. 방대한 투자의 효율을 높이기위해 MINI ENVIRONMENT (국소청정화)가 본격적으로 도입되고 있습니다. 8인치 라인에서는 SMIF POD가 도입되고 그 청정도관리가 중요한 과제로 되고 있습니다. 휴글일렉트로닉스는 각종웨이퍼용 용기세정장치의 오랜 경험과 풍부한 실적을 살려 업계에서 유일한 전자도반송, 베이스개폐기능을 부착한 SMIF POD세정시스템을 개발하여 이미 많은 양산라인에서 가동하고 있습니다.

SMIF POD
1사이클 세팅 POD수 최대10개
세정
시간:1초~999초로 임의설정
유량:20ℓ/min
수압:7kgf/㎠
회전:10회전/min
건조
시간:1초~999초로 임의설정
온도:60~80℃
압력: 7kgf/㎠
회전:10회전/min

UPC-8300 주요특징
최대 10개의 POD를 장치 내에 세팅가능
액정 터치판넬로 여러 종류의 임의 설정시간으로 등록 실행
자동반송에 의해 POD의 SHELL부와 베이스부의 자동 분리와 자동 세팅
실적이 풍부한 제트 순수세정방식


자동반송에 의한 POD분리 및 커버, 베이스 모두 세정건조
POD는 커버부와 베이스부의 자동분리. 커버부는 커버부 내부로 노즐이 들어가는 형태로써 챔버 내에 셋팅되며 베이스부는 챔버 위 부분에 셋팅. 커버부는 회전하여 더욱 정밀한 세정이 행해집니다. 세정 후, 질소에 의한 노즐과 배관 내에 잔류하는 순수를 배출시켜 줍니다. 건조는 크린드라이에어(CDA)를 가열한 온풍강제건조를 행하고 배기, 배수도 분리하여 장비 내로부터 별도로 배출합니다. UPC-8300은 이러한 일관된 조작성으로 더욱 높은 효율성을 높이는것을 꾀하였습니다.