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카세트크리너 MODEL CRD-4200은 반도체 제조공정에 있어서, 세정기술로 풍부한 경험을 가진 휴글일렉트로닉스(주)가 오랜기간 축적한 고도의 세정노하우로써 소재와 형상을 변형시키지 않고 고청정의 세정을 약속하는 고효율 설계된 시스템입니다.

특 징
8인치 웨이퍼용 치구까지 대응할 수 있는 전용 바스켓으로 효율이 좋은 세정이 가능하게 설계 되었습니다. 또, 바스켓의 반송에 관하여서는, 파티클 대책을 할 수 있는 폐사독자의 측주설계의 롤러방식을 채용하여 다량의 처리가 가능한 챔버구조를 가지고 있습니다.

내부구조
챔버내부
콘트롤로/터치판넬조작
세정챔버
세정챔버 내는 폐사의 독자적인 설계에 기초한 고압 스프레이 노즐이 역학적으로 설치되어 세정프로세스 중에 와이어트레이를 움직여 주어 피세정물을 구석구석 깨끗하게 세정합니다.
건조챔버
건조공정은 챔버 내에 설치된 상하 건조노즐(3조설치)로 장비 내부의 특주히터를 통과시킨 고온에어(온도가변)로 건조를 합니다. 노즐, 피세정물에 맞추어 설계되어 고효율의 건조가 실행됩니다.
반송기구
롤러방식의 반송기구로 더욱 안정된 와이어 트레이 반송이 가능, 더욱이 가동부로부터 강제배기되어 파티클 발생으로 인한 오염을 완전 차단합니다.
셀프크리닝기구
드라이 챔버 내에 셀프크리닝 기구를 가지고 있습니다. 이를 위해 드라이챔버 내부 주위에 부착된 파티클의 자동세정이 가능합니다.
 
순수가압탱크
블로어/사이클론 시스템
각 사이즈마다 필요한 순수를 자동으로 공급하여 세정압력까지 가압하는 부스터기능을 가지고 있습니다. 블로어는 프로세스 종료후에
에어/N2의 배기 순수의 강제배수 및 와이어트레이와 롤러가 접촉하는 부분으로부터의 파티클방지를 목적으로 배기를 행합니다.
 
시퀀스 콘트롤러
시퀀스 콘트롤러에 각종 스텝의 시간설정은 물론 장치 내에 설치된 센서에 의해 보내지는 신호에 있어 오동작의 조기발견이 용이한 자기진단기능이 있습니다.
정전기제거
오존크린 이오나이저를 드라이 챔버 내 건조부에 2대설치하여 건조시에 발생하는 정전기를 확실하게 제거합니다.
 
주요한 적용의 예
웨이퍼 캐리어 및 박스
웨이퍼/마스크 보관박스
칩트레이/웨이퍼 케이스
레티클 케이스
디스크 카세트
기타 각종용기
와이어트레이: 580X430X230(H)mm