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FPD(액정 플라즈마)의 Array, Cell 공정에서의 부착된 파티클을 인라인 방식에 의해 앞, 뒷면을 동시에 크리닝 합니다.


특 징
소형, 대형 기판 사이즈 적용
양면 크리너의 단면구조