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LCD관련
Spacer 산포의 응집물 제거
 


특 징
LCD관련
  - Spacer 산포의 응집물 제거
  - 헤드부의 갭과 에어유량 속도 조정에 의해 경계층 속의 입자는 움직이지 않게하고 경계층 위에 나온 입자만 집진합니다.
 
WAVE관련
  - 종이, 섬유등의 이물질로써 비교적 가볍고 큰 파티클을 제거합니다.