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신형크리너 USG-206은 LCD기판과 PDP기판제조공정에서 비접촉으로 기판위의 파티클을 제거하는 USG시리즈 크리너의 최신형입니다. 특히 노즐로부터 나는 소음을 절감하였으며 블로어 유니트도 대폭 소형화하여 가격인하를 목표로 개발되었습니다.또 이번의 신형 USG-206은 노즐에서 이온화된 에어를 불어주어 기판표면에서 떨어져 나온 파티클을 순간적으로 제전시켜 기판에 다시 부착되는 것을 방지하고 흡입슬리트로 완전 흡입되는 제진 효과상승을 꾀하였습니다.

자기테이프, 진공필름, X선필름, 각종필름, 금속박, 종이, 금속롤, 고무롤, 등의 표면에 붙은 파티클을 비접촉 방법으로 완전하게 제거하는 장치입니다.가이드 롤러위에 적절한 간격으로 크리닝헤드를 설치하고, 그 위를 통과하는 시트 표면 및 롤러 자체의 표면을 비접촉 초음파진동으로 크리닝합니다.

●USW-102(SUPER CLEANER USC-I)
초음파진동셀을 이열 교차 배치한 WEB용 크리너입니다.

●USW-103(SUPER II)
에어압을 올려 초음파발생 음압(dB)을 상승시켜, USW-102로도 제거가 힘든 입자를 강력하게 진동시켜 제진 효율을 더욱 높인 WEB용 크리너입니다.

 

FPD(액정 플라즈마)의 Array, Cell 공정에서의 부착된 파티클을 인라인 방식에 의해 앞, 뒷면을 동시에 크리닝 합니다.

 

소형, 대형 기판 사이즈에 적용되며, 양면 크리너의 단면 구조로 되어있습니다.

 

헤드부의 갭과 에어유량 속도 조정에 의해 경계층 속의 입자는 움직이지 않게하고 경계층 위에 나온 입자만 집진합니다.