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GLASS기판과 디바이스 위에 정전기로 부착된 파티클을 0.01㎛필터로 여과된 이온제트로 제거합니다. 또 광범위한 정전기를 순간적으로 제거하는 용도에 최적입니다.


MODEL 3000T는 좁은 공간에 이온에어를 공급하여 급속제전이 가능하며 노즐을 통해 이온 에어를 공급 함으로써 라인 내부의 급속제전이 가능합니다.


Model 3080R Pen Type 이오나이저는, 고주파로 발생시킨 이온을 에어 또는 질소에 불어넣어, 실리콘웨어 나 Glass Mask등의 표면에 정전기로부터 오염된 미세Particle을 신속하게 제거합니다. 이온발생과 Air 제어 스위치는 Pen본체의 손잡이부분에 배치해 조작성을 향상시켰습니다. 신기능 「펄스에어」의 탑재에 의해, 제진률 향상을 가져왔습니다

손에 잡히는 사이즈와 소형설계에 의해 좁은 장치 내부 등의 장착이 용이합니다.
이온 발생 방식은 고주파방식을 채용했기 때문에 이온밸런스를 균일하게 유지, 정밀한 제전이 가능합니다.
방전침의 「Cleaning Alram 기능」, 고압 이상시 「안전회로기능」을 사용한 안전 설계입니다.